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小型離子濺射儀

簡(jiǎn)要描述:JS-600小型離子濺射儀采用二極(DC)直流濺射原理設計,操作簡(jiǎn)單方便,適用于掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備,非導體材料實(shí)驗電極的制作。

  • 產(chǎn)品型號:JS-1600
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2024-03-21
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1978
詳情介紹

  JS-1600小型離子濺射儀采用二極(DC)直流濺射原理設計,操作簡(jiǎn)單方便,適用于掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備,非導體材料實(shí)驗電極的制作。

  用戶(hù)可以根據自己的需要自行選擇不同的真空條件,濺射電流。大尺寸的真空腔體設計,滿(mǎn)足大樣品的濺射需求。標配一片金靶,純度為99.999%,為獲得高質(zhì)量的金膜提供了好的基礎。

  JS-1600小型離子濺射儀主要技術(shù)指標如下:

1.靶(上部電極):材料:金,直徑:50mm,厚度:0.1mm 純度:99.999%

2、真空室:直徑:160mm,高:120mm

3.樣品臺(下部電極):濺射面積:直徑:50mm

4.工作真空 8×10-2—2×10-1 mbar

5.離子電流表:50mA

6.數顯計時(shí)器:根據濺射習慣設定單次濺射時(shí)間。

7.電壓:-1600DVC

8.機械泵:2升/每秒

9.工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,

10.微型真空氣閥: 配有氬氣專(zhuān)用進(jìn)氣口和微量充氣調節,可連接φ3mm軟管。

11. 外型尺寸:360mm×300mm×380mm

備注:JS-600小型離子濺射儀可適用的靶材:金、鉑、銀及氧化鋅








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